拋光研磨液是另一種不同于固定磨料和涂層磨料的“磨料”，磨料均勻且自由地分布在分散劑中。根據其作用機理，具體分為：機械作用研磨液、化學機械作用研磨液。以下，我們就來具體聊一聊。

　　機械研磨液：

　　金剛石、B4C等用作磨料，通過添加分散劑分散在液體介質中，形成研磨液，稱為金剛石研磨液、碳化硼研磨液等。磨料在分散液中自由分布，利用磨料硬度大于被磨削工件硬度的原理實現工件的磨削和減薄。

　　根據磨料的表面、顆粒的大小、研磨液的配置和研磨設備的穩定性，研磨完成后，工件表面可能會留下大小劃痕。因此，機械作用研磨液一般用于粗磨。

　　化學機械研磨液：

　　化學機械研磨液在磨損方面采用“軟研磨和硬化”的原理，即使用較軟的材料進行拋光，以獲得高質量的拋光表面。它是一種機械研磨和化學腐蝕相結合的技術。借助超細顆粒的研磨作用和化學腐蝕作用，在研磨介質表面形成光滑平坦的表面。

　　因此，化學機械拋光液也稱為化學機械拋光研磨液。在一定壓力和拋光液存在下，待拋光工件相對于拋光墊移動，通過納米粒子的研磨作用和氧化劑的腐蝕作用的有機結合，在待拋光工件表面形成光滑表面。